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Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고
본 사업은 반도체 산업의 기술 경쟁력 성장 및 핵심 기술 확보를 위해 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업을 대상으로 시제품 제작, 기술지도, 물성평가 등을 지원합니다. 최대 15,000천원 이내의 자금 지원과 함께 관련 장비 활용 기회를 제공합니다.
D-611,500만원보조금
일정 및 기관
- 마감일
- 2026년 11월 19일
- 신청기간
- 2026.7.20.(월) ~ 2026.11.20.(금) (상시모집, 3개사 선정 시 조기종료)
- 공고 시작일
- 2026년 7월 19일
- 주관기관
- 산업통상자원부
- 프로그램 유형
- 보조금
지원 혜택
- 최대 지원금
- 1,500만원
- 혜택 유형
- 무상지원멘토링장비
- 혜택 상세
- 시제품 제작 지원 (기업당 최대 15,000천원 이내), 기술지도, 물성평가 지원, 장비 활용
지원 자격
- 지원 대상
- 중소기업중견기업
- 대상 단계
- 초기창업도약기성숙기
- 지역 제한
- 대전
- 업종 제한
- EUV 소재·부품·장비 관련
- 특수 요건
•사업개시일로부터 접수 마감일까지 5년 미만인 기업의 경우 부채비율 500% 이상 또는 유동비율 50% 이하 제한 적용 예외